Статьи автора

Физико-химическое исследование комплексов триметилплатины(IV) для MOCVD-приложений

Номер выпуска 8 от 01.08.2023

Уточнена структура триметилплатины(IV) иодида [(CH₃)₃PtI]₄ (I) (CCDC № 22330007) и определена структура впервые полученного комплекса триметилплатины(IV) с тридентатным N,N,O-иминокетонатом [(CH₃)₃Pt(C₉H₁₇N₂O)] (II) (CCDC № 22330008). Методами элементного анализа и спектроскопии ИК, ЯМР подтверждена чистота выделенных фаз. Термическое поведение комплекса II исследовано методом термогравиметрии. С помощью квантово-химических расчетов оценены энергии ионизации и фрагментации молекул II, приводящие к образованию наиболее устойчивого фрагмента [(CH₃)₃Pt]⁺. Комплекс II протестирован в процессах MOCVD. Пленки Pt с выраженной (111)-текстурой с размерами частиц около 100 нм были получены на Si-пластинах в присутствии кислорода.

14 0